Уплотнения и компоненты для полупроводниковой отрасли
Высокопроизводительные металлические уплотнения, сильфоны и ключевые компоненты для вакуумных, сверхчистых и высокочистых применений.
Запросить котировку →Подберите решение по применению
Уплотнения камер травления и осаждения
уплотнения HELICOFLEX® и эластомерные уплотнения для технологических камер
Уплотнения вакуумных насосов
металлические и механические уплотнения для полупроводниковых вакуумных насосов
Уплотнения систем подачи газов и химикатов UHP
сверхвысокочистые уплотнения для газовых и химических систем
Компоненты транспортировки пластин и задвижек
металлические сильфоны BELFAB® и подъёмные узлы
Основания электростатических патронов (ESC)
новые и восстановленные основания с усовершенствованными покрытиями
Номенклатура продукции
Металлические уплотнения
пружинные металлические уплотнения HELICOFLEX® для вакуумных насосов и газовых/химических систем; сверхвысоковакуумная герметичность, многократное использование, неограниченный срок хранения.
Пружинные уплотнения
C-FLEX®, E-FLEX®, O-FLEX® и обработанные металлические уплотнения для криогенных, высокобарических и вакуумных камер; размеры от 1/8″ до 100″ и более.
Металлические сильфоны
сварные сильфоны BELFAB® для задвижек, транспортировки пластин, вводов и подъёмных узлов; диаметр от 1/4″ до 18″, вакуум до 1000+ psi.
Уплотнения UHP/UHV
сверхвысокочистые и сверхвысоковакуумные уплотнения для систем подачи газов, технологических камер и аналитических приборов; низкое газовыделение, без частиц.
Основания ESC
новые и восстановленные основания электростатических патронов, нагревательные основания и металлические основания с усовершенствованными покрытиями.
Эластомерные уплотнения
надувные уплотнения, формованные уплотнения и экструдированные профили для герметизации дверей и изоляции от загрязнений.
Механические уплотнения, спирально-навитые прокладки и графитовые уплотнения
QUALISEAL®, VITAFLEX® и ORIGRAF® для насосов, клапанов и высокотемпературного оборудования.
Наш партнёр-поставщик имеет более 50 лет опыта в герметизации для полупроводниковой отрасли
произведено более 500 000 сильфонов
более 12 000 оснований ESC